中化新网讯 一季度,大连科利德半导体材料股份有限公司共销售高纯三氯化硼、高纯乙炔、高纯三氟碘甲烷等电子特种气体产品5815吨,受到用户的广泛认可。
电子特种气体被称为“芯片血液”,应用在集成电路制造中的光刻、刻蚀、离子注入等环节,是硅晶片制造的第二大材料。该公司攻克了高纯半导体材料的合成、纯化、分析检测、充装等关键技术,形成产品制备、产品检验、洁净灌装和包装物及瓶阀处理技术。
据悉,该公司已取得专利授权80项,获国家级专精特新“小巨人”企业等荣誉称号,产品高纯三氯化硼也获得国家“第七批制造业单项冠军产品”称号。
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