业界为特种气体行业发展“把脉问诊”开良方

由昊华气体有限公司与中昊光明化工研究设计院有限公司联合主办的主题为“新时代、新起航”的“全国特种气体第二十六次年会”10月30日至11月1日在河南郑州召开。来自当地省市政府负责人、特种气体业内企业家、专家学者纷纷表示，在机遇和挑战面前，要与时俱进，从跟跑到并跑、最终实现行业领跑，切实做强做大特气事业，为我国社会经济繁荣发展作出新贡献。

气体行业成绩令人瞩目

全国气体标准化技术委员会秘书长胡迎表示，特种气体作为现代工业、科技领域不可或缺的关键基础材料，在电子、化工、医疗、能源等众多行业发挥着极为重要的作用。

“过去的一段时间里，我们欣喜地看到特种气体行业取得了诸多令人瞩目的成绩。无论是在新产品研发、生产工艺优化，还是在标准制定与完善等方面，都有着长足的进步。”胡迎说。

中国工业气体工业协会常务副理事长洑春干说，2020年以来，我国电子气体行业取得了飞速发展。气体协会、电子气体和材料协会全力推动电子气体国产化并替代进口，推动了电子气体和材料产业高端化、差异化发展。

昊华化工科技集团股份有限公司副总经理刘政良表示，近年来，国内气体企业通过自主努力发展，大多形成了较强的主打产品和产业布局，共同加速推进了电子特气的国产替代进程。

河南省工信厅二级巡视员王高潮表示，河南省特种气体近几年有了较快的发展。如焦作多氟多的电子氟化氢气体、洛阳中硅高科的硅基电子化学品、昊华气体的特种含氟电子气体、心连心集团的高纯度氢气、二氧化碳等。

洛阳市副市长王国辉表示，洛阳市梳理确定了以电子化工材料产业链为代表的 5 大产业集群。其中，电子化工材料产业链规模达千亿，重点依托昊华气体、洛阳石化、中硅高科 3 家龙头企业，在电子特气、石油化工、高端硅基材料三个细分领域开展延链补链强链，特别是随着昊华气体的特种含氟电子气体项目进入“万吨级”规模化生产新阶段，助力“洛阳制造”在为“中国芯”“中国屏”补链中实现了跨越发展。

河南省石化协会常务副会长苏东表示，河南电子信息产业发展已步入快车道，建成了全国重要的智能终端产业集群，先进计算、光电、智能传感器等行业在全国具有较强影响力。2024 上半年，全省电子信息产业增加值增长 18.7%，成为河南省制造业发展的重要引擎，总体上呈现强劲的发展态势。

面临的问题亟待解决

胡迎认为，随着科技的飞速发展和各行业对产品质量、工艺精度要求的不断提高，特种气体的应用场景日益广泛，其质量、性能及标准化等方面的重要性也愈发凸显。然而，必须清醒地认识到，特种气体行业在发展过程中仍面临着一些亟待解决的问题，比如部分高端特种气体仍依赖进口、产品质量稳定性有待进一步提升、标准体系尚需持续优化等。

“本次年会就是我们携手攻克这些难题的重要契机，希望大家能够充分利用这个平台，群策群力，为行业的发展贡献更多的智慧和力量。”胡迎说。

在昊华气体有限公司首席技术官郭琼看来，电子气体具有品种多、用量小、质量要求苛刻、专用性强、附加值高、更新换代快、生产技术复杂等特点，是以化学产品、工业废气、空气等为原料的上游基础化工材料行业，其供应量、价格、技术水平和质量水平对本行业均有影响。而集成电路、平板显示、光伏太阳能等下游电子信息行业对本行业发展具有较大的牵引和驱动作用，直接决定市场状况和发展前景。与此同时，由于工艺复杂性增加，工艺严苛度增加，良率收益率增加等也给工艺升级带来一定影响，加之环保压力带来的影响，不同程度地影响和制约气体行业的发展。

王高潮表示，整体来看，河南工业特气在产业集中度、企业规模、中高端产品、创新能力、产业协同配套等方面，存在有不足和短板，都有可观的进步空间和可期的发展前景。

为此，河南省工信厅高度重视特种气体产业发展，指导成立了电子化学品专业委员会，致力于推进电子化学品产业链培育相关工作。

积极探索特气产业新路径

电子气体产业如何发展？“新时代特气行业高质量可持续良性发展，是需要我们深入思考的问题。”昊华气体有限公司总经理、全国特种气体信息总站理事会理事长王娟表示。

王娟说，要充分利用技术服务和信息交流平台，集思广益、献言献策，努力为我国气体事业的发展探索出有益的新思路、新途径。在不远的将来，我国气体不仅在数量上品种上取得突破，更会在质量上发生质的飞跃，中国气体同国外先进公司的气体研发、生产、检测能力必将会进一步缩小。

郭琼建议，气体企业要用足用好政策支持，把半导体产业作为战略科技力量的重点，通过把握国家部委和省市提供的政策支持和资金投入，推动企业快速发展。同时，要健全合作协同机制，在产学研方面，采用自主研发+委托开发的模式，解决产业开发和产业升级的瓶颈问题；在研产销方面，产品开发和营销销售形成风险共担、利益共享的一致动力。

针对特种气体产业存在的工艺问题，郭琼表示，由半导体设备企业主导，在现有电子气体范围内尝试变更CF4应用的刻蚀工艺配方，半导体设备企业和气体供应企业联合，尝试新的工艺路线和气体供应方式，对设备、使用环境、操作流程有很大改变，但替代的必要性需要综合考虑。同时，气体企业应由传统气体制造供应角色向综合服务调整转变，与产业链上下游共筑生态环境。

刘政良表示，要加速推进电子特气的国产替代进程。气体企业要吸收先进理念和技术，更新管理理念，创新管理机制，加快技术创新和品牌建设，壮大电子特气产业。

多氟多新材料股份有限公司副总经理薛旭金表示，电子化学品体量虽然不大，但关乎国家战略的“大气候”，是支撑半导体集成电路、LED液晶显示面板、太阳能光伏等高科技产业发展的关键要素。作为技术密集型、资金密集型产业，其技术开发风险大、产品验证周期长、市场开拓难度高，需要不断加大研发投入，优化产品结构，提升服务质量，才能在关键核心技术上实现自主可控。特别是在电子化学品领域，企业将聚焦关键技术突破，加强产业链上下游的协同合作，推动产业向高端化、智能化、绿色化方向发展。