滨化集团电子级6N高纯氟化氢气体项目投产

7月19日，北鲲计划——滨化集团电子级高纯氟化氢气体投产暨新产品发布会举行。滨化集团通过工艺、工程、检测、充装四方面技术突破，实现制备、生产、分析、包装的闭环控制，半导体用高纯氟化氢产品品质达到6N等级（99.9999%），达到国际一流水平。

高纯度氟化氢被称为半导体制造的“血液”，是半导体制造过程中清洗、蚀刻及腔体维护的不可替代材料，其纯度直接决定晶圆良率，6N级高纯氟化氢是适配28纳米及以下先进制程的必需品，我国长期以来依赖进口，国外企业垄断6N级高纯氟化氢全球约占80%的市场份额。

半导体级氟化氢要求纯度99.999%以上（5N），从5N到6N的跨越隔着的不是多提纯一次，是一整套全新的纯化体系。据滨化集团特种化学品事业部总经理刘腾介绍，实现6N纯度，关键是攻克氟化氢中痕量水、二氧化碳、含氧有机物等互溶杂质。在精馏段设计多重精馏耦合系统，滨化集团通过优化塔内件和操作窗口，在特定压力梯度下实现碳氧杂质深度脱除，从根本上控制碳氧等关键杂质。同时，针对二氧化碳分析易受环境干扰的问题，自主开发了密闭精准取样系统和高灵敏分析方案，将取样过程中的环境本底干扰降至最低，确保分析数据真实反映产品质量，保障了6N指标的稳定可靠。

6N的突破是工艺、工程、检测、充装四个方面的系统化技术攻关，紧扣半导体行业严格标准，在工程端突破选材杂质析出控制与流场循环技术，保证制备过程中不受污染；在充装端突破钢瓶预处理防护与杂质置换脱除技术，守住产品出厂的最后一道关。四方面技术形成闭环，使产品品质稳定在6N水平，达到国际一流。

目前，6N等级高纯氟化氢市场价格在200万元/吨以上，滨化已完成50吨/年高纯氟化氢钢瓶充装线的建设与调试，并取得山东省特检院颁发的气瓶充装许可证，具备完整的生产、充装、销售手续，并已开始向国内外重点客户进行产品推介。